| 大氣壓 | 70~106Kpa |
|---|---|
| 工作臺(tái)面中心振動(dòng)靜位移μm(rms) | 4.1 |
| 主過(guò)濾器類(lèi)別 | ULPA |
| 人員保護(hù) | 2.1*100000 |
| 主過(guò)濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
| 下降氣流速度(m/s) | 0.28 |
| 流入氣流速度(m/s) | 0.55 |
| 外排風(fēng)量(m3/h) | 440 |
| 頻率 | 50Hz±1Hz |
|---|
| 工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 |
|---|---|
| 重量(Kg) | 258 |
| 腳輪 | 有 |
| 柜內(nèi)插座配置(防濺插座個(gè)數(shù)) | 1個(gè)防濺插座 |
| 固定底腳 | 可調(diào)高度75mm,無(wú)裸露螺紋 |
| 過(guò)濾器阻塞報(bào)警 | 有 |
|---|---|
| 過(guò)濾器破損報(bào)警 | 有 |
| 前窗玻璃防紫外線 | 有 |